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什麼是EUV光刻機？為什麼大家都在追求它？ - WONGCW 網誌

為什麼需要EUV光刻？現在所用的193nm光源DUV其實是2000年代就開始使用的了，然而在更短波長光源技術上卡住了，157nm ...

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