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CN102472976A - 用于euv波长范围的反射镜

本发明涉及一种用于EUV波长范围的反射镜(1a；1b；1c)，所述反射镜包括基底(S)和层布置，其中所述层布置包括多个层子系统(P”、P”')，每个层子系统由单独层的至少两个 ...

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