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euv波長完整相關資訊 - 數位感

Centura® Tetra™ EUV 先進光罩蝕刻系統| Applied MaterialsEUV 光罩與傳統的光罩截然不同，後者是有選擇性地傳輸193nm 波長的光線，將電路圖案投射到晶圓上。

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