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小辭典》什麼是DUV設備？ - 自由財經

微影設備是利用光線的波長來加工精密尺寸的晶片，又稱蝕刻機、光刻機； ... 的極紫外光源（Extreme Ultraviolet；EUV），更將波長縮減至13.5奈米。

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