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奈米世代微影技術之原理及應用 - CTIMES

然而，F2技術使用的設備單價在8.5億台幣，而EUV技術使用的設備價格更 ... 空氣中的水氣與氧氣對於此一波長範圍的光有很強的吸收；故157 nm微影必需要 ...

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