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极紫外反射率计控制与数据采集系统 - 光学仪器

摘要: 针对自行研制的真空紫外-极紫外（VUV–EUV）波段反射率计运行需要， ... 的BEAR光束线可提供0.775～248 nm波长范围的光学元件性能检测。

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