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半導體製程技術 - 聯合大學

光阻. ▫ 感光材料. ▫ 暫時塗佈在晶圓上. ▫ 將設計的圖案經由曝光轉印到晶圓表面 ... 未曝光的部分在顯影劑中將被溶解. 光罩. 曝光. 顯影. 負光阻 ...

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