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新型EUV光阻劑研發正夯富士軟片、住友化學最快明年加入戰局

《日經亞洲評論》報導，富士軟片（FUJIFILM Holdings）和住友化學（SUMITOMO CHEMICAL）正在開發用於極紫外光（EUV）微影技術的特殊光阻 ...

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