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nikon 曝光機

適用於Nikon曝光機之6吋光罩載具，外盒採用低釋氣材質，支點採用耐磨、靜電消散且 ... 設備封鎖，中國將與日本廠商Nikon及Canon聯手研發除EUV之外的半導體曝光設備。2.

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