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微影技術持續精進半導體工業延續飛躍性成長 - 電子時報
此外,電子束曝光技術相較深紫外光微影術使用的相位轉移光罩(phase ... 但一般光罩並無法有效地讓X光穿透,X光使用的光罩為由特殊材質作為光罩基板與 ...
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