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光罩護膜 - 中文维基百科

在目前逐步踏入EUV的世代，因為其波長僅有13.5nm，以往所使用的「光罩護膜」將會吸收此光源的波長，然而據報導指出ASML是唯一成功開發出商用的「EUV ...

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