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國立高雄大學應用化學系碩士班碩士論文

第三位：EUV 光阻研發的關鍵性僅次於EUV 光源的開發與光罩的. 製造。2 ... nm 的波長光源時，BARC 材質的抗反射作用與其他物質包括矽空片.

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