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極紫外光微影 | 蘋果健康咬一口

中，使用反射式透鏡及聚光多層膜反射鏡將光罩上的圖案縮小4倍反射曝光在 . ... 當採用13.5nm 波長的極紫外光微影技術(EUV Lithography) 時，所有的光罩材料都是不透光 ...

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