半導體製程微縮拉抬EUV設備需求,AGC宣布擴張生產EUV空白光罩,然面對Hoya在表面 ... 目前的尖端技術可做出寬度小於10奈米的電路,EUV曝光用光罩材料是在平板玻璃上 ...
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