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euv光罩材質
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一窺全世界技術最精密的機具
接著將每個光罩放在矽晶圓上方,照射光線(相當於在轉印模版上噴漆)。 ... 曝光機最終需要11個鏡面反射EUV光,聚焦在晶片上,就好比有11個人打乒乓 ...
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