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Euv 曝光機
最近,asml 正專注於提高其產能和供應量。 構建了euv 光刻曝光裝置,國內首次獲得. euv投影光刻32 nm 線寬. 將光罩上的圖形縮小之後轉移到矽晶圓上所 ...
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