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台积电EUV光刻机将破50台，5nm晶圆成本曝光 - 电子工程专辑

从EUV 光罩盒的采购量看来也支持这样的说法。 一台EUV光刻机的价格大概是1.2亿美元（约合8亿元人民币），也就是在2020年底前，台积电光是买EUV设备就 ...

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