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台積電衝3納米啟動EUV改善計劃 - 每日頭條

而由製程上來看，4納米主要是以5納米進行優化，EUV光罩層大約在14層以內，但3納米預計將採用25層EUV光罩層，所以3納米晶圓代工價格恐怕上看3萬美元， ...

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