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什麼是EUV光刻機？為什麼大家都在追求它？ - WONGCW 網誌

而使用極紫外光（EUV）作為光源的光刻機就是EUV光刻機，當然這絕對不是單純只換個光源這麼簡單。為什麼需要EUV光刻？現在所用的193nm光源DUV其實是2000 ...

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