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中芯国际为什么非要买7nm的EUV光刻机呢 - 知乎

首先人家叫中芯国际。。。。为了避嫌，圈内直接叫英文缩写SMIC 的音译斯米克的多。 第二DUV是指193nm波长的那批光刻机，分干式和液浸式。基本上液浸式一次曝光可以 ...

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