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光刻機- 維基百科，自由的百科全書

光刻機 （英語：Mask Aligner）是製造微機電、光電、二極體大規模集成電路的關鍵裝置。可以分為兩種，分別是模板與圖樣大小一致的contact aligner，曝光時模板緊貼晶 ...

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