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euv光刻機
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50台EUV光刻机!占ASML一半!台积电新消息传来,底气十足
虽然采用DUV光刻机也能够生产制造7nm芯片,但其存在成本高、良品率低等问题,所以三星早就向ASML表示,想要获得更多EUV等先进的光刻机。
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