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挽救摩爾定律：ASML 極紫外光（EUV）微影技術量產的開發歷程

接下來的任務更加艱鉅：為了證明光源的輸出功率不只是最佳的的實驗數據，我被長官要求證明這部微影機台能連續一個月平均每天曝光五百片晶片。我去和ASML ...

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