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藉助CO 2 高功率雷射系統和錫產生EUV輻射 - TRUMPF

EUV光刻 的一大挑戰在於產生13.5奈米的最佳波長光束。解決方案：透過雷射射束生成提供極短波長光束的發光電漿。但如何先形成電漿？發生器讓錫 ...

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