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ASML科普，EUV曝光機的奇蹟之路 - VITO雜誌

然而，並不是每個人都立即被EUV 技術的想法所吸引。在2020 年SPIE 會議回顧展上，時任NTT 研究員的Hiroo Kinoshita 描述了讓他的科學家同事相信EUV 光刻有 ...

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