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光刻机euv 英文全名是什么 - 百度知道

EUV （极端远紫外光源，Extreme Ultraviolet 略称）光刻，是使用通称极端远紫外光源的极短波（13.5 nm）光线的光刻技术，能够加工至既有ArF 准分子激光光刻技术不易达到 ...

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