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國產光刻機風勁潮湧，任重而道遠

在光刻機概念板塊投資熱度高漲的背後，我國光刻機設備高端制造依舊任重而 ... 光刻機（ArF）、第五代則是13.5納米波長的極紫外光刻機，即EUV光刻機。

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