2021年10月4日 — 根據ASML的預估,月產能達4.5萬片的7奈米至3奈米12吋晶圓廠,單片晶圓EUV光罩層數介於10~20層,EUV曝光機安裝數量達9~18台。至於月產能達10萬片DRAM ...
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