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光刻机的工作原理及关键技术 - CSDN博客

目前主要采用的办法是将准分子激光照射在锡等靶材上，激发出13.5nm的光子，作为光刻机光源。 目前，各大Foundry厂在7nm以下的最高端工艺上都会采用EUV光刻 ...

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