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euv光刻機原理？ - 劇多

光刻的工作原理，大家可以想象一下膠片照片的沖洗，掩膜版就相當於膠片，而光刻機就是沖洗臺，它把掩膜版上的晶片電路一個個的複製到光刻膠薄膜上，然後 ...

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