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光刻机的工作原理及关键技术 - 与非网

目前主要采用的办法是将准分子激光照射在锡等靶材上，激发出13.5nm 的光子，作为光刻机光源。目前，各大Foundry 厂在7nm 以下的最高端工艺上都会采用EUV ...

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