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https://technews.tw/2021/02/15/euv-mass-production-of-lithography-technology/
挽救摩爾定律:ASML 極紫外光(EUV)微影技術量產的開發歷程
雖然數值孔徑都是0.25,NXE:3100 的鏡頭比起ADT 來有很大的進步,我們看到它已經可以在晶片上曝出10 奈米世代需要的圖案! 再者,ASML 的下一代機型NXE: ...
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