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光刻机霸主阿斯麦封神之路 - 智东西

EUV光刻机 采用13.5nm波长的光源，是突破10nm芯片制程节点必不可少的工具。 ... 步进式扫描光刻技术的原理是，光线透过掩膜板上的狭缝照射，晶圆与掩 ...

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