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解決晶片光刻機「卡脖子」難題北京清大SSMB最新研究出爐

唐傳祥認為，基於SSMB的EUV光源，將有望解決自主研發晶片光刻機中最核心 ... 完成一種新型粒子加速器光源「穩態微聚束」（SSMB）的首個原理驗證實驗。

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