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EUV光刻机：超精密制造技术皇冠上的明珠 - EDA创新中心

光刻机 基本结构如下图所示，其工作原理跟照相机类似，不过它的底片是涂满光刻胶的硅片，各种电路图案经激光缩微投影曝光到光刻胶上，光刻胶的曝光部分 ...

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