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EUV光刻機裡的低調王者_半導體行業觀察

從原理上看，這種方法是使用一個非常高功率（超過30kW平均脈衝功率的鐳射數，其脈衝峰值功率可高達幾兆瓦）的鐳射脈衝，打在不斷滴下的錫珠，然後轉化成為 ...

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