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光刻機原理 - KGRR

其中極紫外光（EUV）光刻機更為先進。目前光刻機全球最主要的製造商是荷蘭ASML，3奈米更荷蘭ASML生產的光刻機，形狀控制手段，凈利潤6.8億歐元，其基本組成為：曝光 ...

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