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euv光刻機原理
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制造一台光刻机,究竟有多难? - 返朴
光刻的原理非常简单,和胶片相机的原理很相似。光线通过刻有电路图案的板子( ... 目前最顶尖的光刻机的光源波长达到13.5nm,被称为极紫外光(EUV)。
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