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極紫外光刻_百度百科

Extreme Ultra-violet. 常稱. EUV光刻. 原理. 通過通電激發紫外線管的K極 ... 幾乎所有的光學材料對13.5nm波長的極紫外光都有很強的吸收，因此，EUV光刻機的光學系統 ...

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