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什麼是EUV光刻機？為什麼大家都在追求它？ - WONGCW 網誌

而光刻的工作原理，大家可以想像一下膠片照片的沖洗，掩膜版就相當於 ... 而使用極紫外光（EUV）作為光源的光刻機就是EUV光刻機，當然這絕對不是單純 ...

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