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走査型X線光電子分光装置（µ-ESCA（XPS）） - 表面分析

メーカー・型式. ULVAC-PHI社製 Quantum 2000. 2. 原理・特徴. 試料に一定のエネルギーを持ったX線を照射して光電効果により発生する電子の運動エネルギーを測定する ...

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