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第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏

位置上的誤差我們稱為覆蓋誤差（Overlay Error）。 ... 層對層覆蓋誤差檢查（Overlay error） ... 輔助線（Scattering Bar）或改變線寬（Line extension）來達成。

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