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有機金屬氣相磊晶系統及技術簡介

本文以深入淺出之方式，介紹有機金屬氣相磊晶(MOVPE) 系統之構造及其基本原理。自 ... 其前後幾年，正值氣相磊晶(vapor phase epitaxy, ... Epi-字首意為「在…

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