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TWI496962B - 經磊晶塗覆之半導體晶圓及 ... - Google Patents

更佳地，其係用於ASM及Applied Materials(AMAT Centura Epi)的單晶圓反應器。 較佳地，本發明裝置係經設計以接收直徑選自150毫米、200毫米、300毫米及450毫米的半導體 ...

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