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先進節點面臨邊緣放置誤差問題- 電子技術設計 - EDN Taiwan
但隨著晶片尺寸的縮小,邊緣放置誤差(EPE)的容差也變小了,因此過去的這些 ... 這個難題將會影響微影、沉積和蝕刻製程所定義的(中間)邊緣,進而影響到 ...
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