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對氮化銦薄膜成長之磊晶研究

三族參與反應,因此容易使銦原子在薄膜表. 面因動能不足來不及與五族發生 ... Energy),H為焓(Enthalpy),S為熵(Entropy), ... 由查表得知,分別為3014及10.52,T(k)為放.

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