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奈米壓印實務 - 微學分學習系統- 國立勤益科技大學

時至今日，常用的微奈米結構製造技術，往往利用電子束微影技術(Electron-beam Lithography，EBL)或是聚焦 ... 然而，以上述手段製造奈微米結構，卻有著下述缺點：1.

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