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鍍膜技術實務

缺點 ：1. 僅能應用於矽酸鹽玻璃。 2. 膜之折射率只能比基板低，僅能作為抗反射膜。 3. 膜之均勻性控制不易。 ... 繞共振式(Electron Cyclotron Resonance, ECR)兩種。

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