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電子束微影之低溫短顯影研究 - Airiti Library華藝線上圖書館

Investigation of electron beam lithography with the low-temperature ... 降低顯影溫度，在變換電子阻劑的實驗中我們分析了使用不同電子阻劑的優缺點，並選擇了適合 ...

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