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應用田口方法於具微小特徵矽基板之鎳基電鑄製程的最佳化 ...

關鍵詞：電鑄，非等向性矽基蝕刻，薄板取代，正負脈衝電流，田口方法。 Page 2. Abstract. Electroforming is often applied to the stamper fabrication of precision ...

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